PFA製ウェーハカセット 8インチハーフ TJF-A8-1｜半導体用

製品説明

TJF-A8-1は、YJ Coreviaが提供する8インチハーフサイズ対応のPFA製ウェーハカセットであり、酸・アルカリを使用する半導体プロセス向けに設計された高純度搬送・保管ソリューションです。PFA（パーフルオロアルコキシ樹脂）を採用し、優れた耐薬品性と化学的安定性により、クリーンルーム環境での信頼性を確保します。

本カセットは、強酸・フッ酸・強アルカリ環境でも安定した性能を維持し、ウェーハの保持安定性を確保。低パーティクル特性により微粒子付着を抑制し、品質維持と歩留まり向上に寄与します。

また、耐熱温度200〜220℃に対応し、洗浄・エッチング・薬液処理などの工程に適応。ハーフサイズ設計により、省スペース運用や少量処理ラインでの取り扱い効率を高めます。装置仕様に応じたカスタマイズやトレーサビリティ対応（レーザー刻印・RFID）にも柔軟に対応可能です。

✨ 主な特長

• PFA素材による高耐薬品性：酸・フッ酸・アルカリ環境でも長期安定使用
• 高耐熱性能（200〜220℃）：高温プロセスにも対応
• ハーフタイプ設計：省スペースで効率的な装置運用を実現
• 操作性オプション：テフロンハンドル／専用M型ハンドル対応
• トレーサビリティ強化：レーザー刻印・RFID対応で管理効率向上

🔹 用途

本PFA製ウェーハカセットは、ウェーハ洗浄、エッチング工程、薬液処理など、化学耐性が求められる半導体プロセスに適しています。小ロット生産や研究開発用途にも適した、柔軟性と信頼性を兼ね備えたキャリアソリューションです。