PFA製ウェーハカセット 12インチ TJF-A12｜半導体用

製品説明

PFA製ウェーハカセット 12インチ TJF-A12｜半導体用

TJF-A12は、YJ Coreviaが提供する12インチ対応のPFA製ウェーハカセットであり、酸・アルカリを用いる半導体プロセスに適した高純度の搬送・保管ソリューションです。PFA（パーフルオロアルコキシ樹脂）により優れた耐薬品性と化学的安定性を備え、クリーンルームでの安定運用を支えます。

強酸・フッ酸・強アルカリ環境でも性能を維持し、ウェーハの保持安定性を確保。低パーティクル特性により微粒子付着を抑制し、品質維持と歩留まり向上に寄与します。

耐熱温度200〜220℃に対応し、洗浄・エッチング・薬液処理などの工程でも安定した性能を発揮。長期使用における劣化を抑え、装置仕様に応じたカスタマイズやトレーサビリティ対応（レーザー刻印・RFID）にも柔軟に対応可能です。

製品特長

• 高耐薬品性能：強酸・フッ酸・強アルカリに対応し、化学処理中のウェーハを確実に保護
• 高耐熱設計：200〜220℃の高温環境でも安定した性能を維持
• 低パーティクル特性：クリーン環境での微粒子付着リスクを低減
• トレーサビリティ対応：レーザー刻印・RFIDにより管理と追跡を効率化

適用範囲

本PFA製ウェーハカセットは、ウェーハ洗浄、エッチング工程、薬液処理など、化学耐性が求められる半導体プロセスに適しています。大口径ウェーハの品質維持と安定運用を支える、信頼性の高いキャリアソリューションです。