半導体用PFAウエハカセット（12インチ）TJF-A12

製品説明

12インチPFAウエハカセット TJF-A12｜テフロン製ウェーハボックス（耐薬品・高耐熱対応）

本製品は、半導体ウェーハの酸・アルカリプロセス向けに開発された PFAウエハカセット（テフロン製ウェーハボックス） です。強酸・フッ酸・強アルカリといった過酷な化学環境でも安定した性能を発揮し、ウェーハの安全な保持と高いプロセス信頼性を実現します。

耐熱温度200〜220℃に対応した PFAウエハカセット は、優れた耐薬品性と熱安定性を兼ね備え、洗浄・エッチング・薬液処理などの半導体製造工程に最適です。クリーンルーム環境でも安心して使用でき、ウェーハの品質維持と歩留まり向上に貢献します。

✨ 製品特長

• 高耐薬品性能：強酸・フッ酸・強アルカリに対応し、化学処理中のウェーハを確実に保護
• 高耐熱設計：200〜220℃の高温環境でも安定した性能を維持
• 操作性向上オプション：テフロンハンドルや専用M型ハンドルに対応し作業効率を改善
• トレーサビリティ対応：レーザー刻印・RFID取り付けにより製品管理・追跡が容易

🔹 適用範囲

本PFAウエハカセットは、半導体製造、ウェーハ洗浄、エッチング工程、薬液処理、微電子加工など、化学耐性と高精度が求められる幅広いプロセスに対応します。