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・6インチ単一ウェーハカセット TJF-O6
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製品紹介
製品説明
半導体後工程向け 高効率ウェハーキャリアソリューション
6インチ ウェハーキャリア / ウェハフレームカセット TJF-C6
TJF-C6は、半導体後工程に最適化された6インチ ウェハーキャリアであり、ウェハフレームカセットとしても使用可能な高性能搬送ソリューションです。パッケージング工程やダイシング後の処理工程において、ウェハーフレームを安全かつ安定的に保持し、クリーンルーム内での効率的な搬送・保管を実現します。
✨ 製品特長
- 高強度アルミ押出材(6061/6063)採用
軽量かつ高剛性の6061/6063アルミ材を使用し、長期使用に耐える優れた耐久性を実現。繰り返しの工程使用にも安定した性能を発揮します。 - 後工程向け最適設計
ウェハーフレームを確実に固定し、搬送中の振動やズレを最小限に抑制。ダイシング後のウェハー保護やDie Bond工程での安定供給をサポートします。 - 静電気防止表面処理
ESD対策を施した表面処理により、パーティクル付着や静電気によるダメージリスクを低減。半導体クリーンルームの清浄度維持に貢献します。 - ウェハフレームカセット対応構造
ウェハーフレームの整列収納に適した設計で、工程間搬送の効率化とトレーサビリティ向上を実現します。
✨ カスタマイズ対応
装置仕様や工程条件に合わせて寸法調整が可能。
レーザー刻印(ロゴ・バッチ番号・製造日など)やRFID無線追跡オプションにも対応し、生産管理・資産管理の効率化をサポートします。
📌 適用範囲
半導体製造、後工程パッケージング、Die Bond工程、ウェハー搬送・保管用途など。
高精度・高信頼性を求める半導体製造現場に最適な6インチウェハーキャリア/ウェハフレームカセットです。
