PFA製ウェーハカセット 6インチ TJF-A6｜半導体用

製品説明

本製品は、半導体ウェーハの酸・アルカリプロセス向けに設計されたPFA製ウェーハカセット（テフロン製ウェーハボックス）です。強酸・フッ酸・強アルカリ環境でも安定して使用でき、過酷な化学プロセス下においてもウェーハを安全に保護します。

耐熱温度200〜220℃に対応し、優れた耐薬品性と熱安定性を兼ね備えることで、半導体製造工程における信頼性の高い搬送・処理を実現。クリーンルーム環境でも安心して使用できる高純度キャリアです。

製品特長

• 高耐薬品性能：強酸・フッ酸・強アルカリに対応し、化学処理中のウェーハを確実に保護
• 高耐熱設計：最大200〜220℃の高温環境でも安定した性能を維持
• 操作性向上オプション：テフロンハンドルや専用M型ハンドル（TJF-A6-M）に対応
• トレーサビリティ対応：レーザー刻印やRFID取り付けにより管理・追跡を効率化

適用範囲

本PFA製ウェーハカセットは、半導体製造、ウェーハ洗浄、エッチング、薬液処理工程など、化学耐性が求められる高精密プロセスに適しています。微電子分野における品質維持と工程安定化を支える、信頼性の高いソリューションです。