半導体用PFAウエハカセット（8インチ・ハーフ）TJF-A8-1

製品説明

半導体の薬液プロセスに最適化された PFAウエハカセット（ハーフタイプ）。コンパクト設計により装置内スペースを有効活用しながら、強酸・フッ酸・強アルカリ環境でも安定した性能を発揮します。8インチウェーハの安全な搬送・処理・保管を支える、高機能テフロン製カセットです。

耐熱200〜220℃の高温環境に対応し、優れた耐薬品性と低パーティクル特性により、洗浄・エッチング・薬液処理などの重要工程でウェーハ品質を確実に維持。クリーンルーム基準にも適合し、歩留まり向上とプロセス安定化に貢献します。

✨ 主な特長

• PFA素材による高耐薬品性：酸・フッ酸・アルカリ環境でも長期安定使用
• 高耐熱性能（200〜220℃）：高温プロセスにも対応
• ハーフタイプ設計：省スペースで効率的な装置運用を実現
• 操作性オプション：テフロンハンドル／専用M型ハンドル対応
• トレーサビリティ強化：レーザー刻印・RFID対応で管理効率向上

🔹 用途

PFAウエハカセットは、半導体製造、ウェーハ洗浄、エッチング、薬液処理、微細加工など、化学耐性と精度が求められる工程に最適です。