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・6インチウェーハカセット/ケーキボックス TJG-6
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・4インチ単一ウェーハカセット
・6インチ単一ウェーハカセット
・8インチ単一ウェーハカセット
・12インチ単一ウェーハカセット
TJU-12
12インチFOUPウェーハキャリア/ウェーハ伝送カセット(25枚用)
材質:
PC ESD
サイズ:
(L)370*(W)387(H)322 mm
容量:
25 slot
製品紹介
製品説明
12インチFOUPウェハーキャリア/ウェハートランスポートボックス(25枚収納) TJU-12
本製品は SEMI Standard E47.1 に準拠し、12インチウェハーおよび各種薄片製品の保護・輸送・保管向けに設計されています。
前開き設計に加え、内容物を確認できる窓を搭載。静電気防止機能付きで微小粒子汚染リスクを低減し、ウェハー損傷を防ぎ、プロセス歩留まりを向上させます。
お客様のニーズに応じてカスタマイズ可能で、円形・方形・薄片製品の各種サイズに対応。
オプションでRFIDを追加し、追跡・管理も容易に行えます。
半導体・微電子産業で幅広く活用できる、高効率で安全なウェハー保護ソリューションです。
