6インチウエハーキャリア TJF-W6-3

製品説明

6インチウエハーキャリア TJF-W6-3

6インチウエハーキャリア TJF-W6-3 は、半導体ウェーハや LED エピタキシャルウェーハ、長尺チップなどの円形基板に対応し、6インチおよび8インチサイズで運用可能です。対応するウェーハボートと組み合わせることで、ウェーハ位置を安定的に保持し、搬送時の摩耗や破損リスクを低減するとともに、粒子発生を抑え、クリーンな工程環境を維持します。

本製品は ESD 対策素材 を採用し、静電気の蓄積や放電による影響を抑制。輸送および一時保管時にも高い保護性能を発揮します。ウェーハダイシング、研磨工程、封止前の保管、前工程での移載用途に適しており、半導体製造における信頼性の高いウエハーハンドリングソリューションです。