シングルウェーハシッパーとウェーハフレームカセットの違い｜1枚・複数枚をどう使い分ける？
1枚ずつ別の相手へ渡すならシングルウェーハシッパー、複数枚を同じ工程へまとめて運ぶならウェーハフレームカセットが候補になります。
YJ COREVIAでは、ウェーハフレーム向けの1枚用ブリスターボックスとしてシングルシッパーを掲載しています。本記事では、この1枚用ケースと、複数枚のウェーハフレームを保持するカセットを比較します。
選定では、収納可能枚数だけでなく、実際の工程でフレームをどの単位に分けて保管・受け渡しするかを考えることが重要です。
同じ5枚でも、まとめて次工程へ送るのか、それぞれ別の評価先へ渡すのかによって、使いやすいキャリアは変わります。
シングルウェーハシッパーとウェーハフレームカセットの比較
| 比較項目 | シングルウェーハシッパー | ウェーハフレームカセット |
|---|---|---|
| 収納単位 | 1ケースにフレーム1枚 | 1つのキャリアに複数枚のフレーム |
| 搬送・受け渡しの単位 | 1枚をケースごとに扱う | 複数枚をキャリアごとに扱う |
| 使い方の例 | 評価品、試作品、サンプルを個別に保管・受け渡しする | 同じ工程で扱うフレームをまとめて搬送する |
| 複数枚を扱う場合 | 必要な枚数分のケースを使用する | 製品容量とフレーム仕様に応じて複数枚を保持する |
| 特定の1枚を別の場所へ渡す場合 | 収納したケースごと受け渡す | 対象フレームを取り出し、用途に合った容器へ移す |
カセットを使用していても、運用上はフレームごとに識別することがあります。
ここで比較しているのは識別方法ではなく、特定の1枚を別ケースに分け、その状態で保管・搬送・受け渡しする必要があるかどうかです。
同じ5枚でも、選ぶキャリアが変わる理由
5枚を同じ工程へまとめて送る
5枚すべてを同じ工程へ運び、受け渡し後もまとめて取り扱う場合は、ウェーハフレームカセットが候補になります。
使用するフレームとカセットの仕様が合っていれば、複数枚を1つのキャリアで移動できます。
1枚用ケースを5つ使用する場合に比べ、取り扱う容器の数を抑えられるため、同じ工程単位でまとめて管理しやすくなります。
ただし、最大収納枚数が多い製品を選べばよいわけではありません。
受け取り側でのフレームの取り出し方や、その後の工程での扱い方まで含めて確認します。
5枚を別々の評価先へ渡す
一方、5枚をそれぞれ別の評価先へ渡す、異なる条件で試験する、別の場所で保管するといった場合は、1枚ずつ別ケースに収納する方法が使いやすくなります。
シングルウェーハシッパーであれば、対象フレームをケース単位で分け、そのまま受け渡すことができます。
ケース数は増えますが、評価先や用途ごとにフレームを分けて扱う運用には対応しやすくなります。
総枚数ではなく、一度に一緒に扱うフレームのまとまり方を見ることがポイントです。
カセットから評価対象の1枚だけを取り出す場合
通常は複数枚をカセットで搬送し、その中から抜き取り評価、不具合解析、顧客提出用サンプルなどに使う1枚だけを個別管理する運用も考えられます。
例えば、次のような流れです。
- 複数枚のウェーハフレームをカセットで工程へ搬送する
- 評価や解析の対象となるフレームを取り出す
- 対象フレームをシングルウェーハシッパーへ移す
- 評価先や別工程へ受け渡す
この使い方であれば、通常の複数枚搬送を維持しながら、必要なフレームだけを個別管理へ切り替えられます。
つまり、シングルウェーハシッパーとウェーハフレームカセットは、必ずしも代替関係ではありません。
カセットでまとめて扱う工程と、特定の1枚だけを分けて扱う工程をつなぐために併用することもできます。
併用前に確認すること
カセットからシングルウェーハシッパーへフレームを移す場合は、同じウェーハフレームが両方の製品に使用できるか確認します。
対応インチだけで判断せず、主に次の点を見ます。
- フレームの外形寸法と厚み
- ケースやカセットの保持部に合う形状か
- 出し入れや移し替えを無理なく行えるか
特殊形状や特注フレームの場合は、図面や主要寸法をもとに確認します。
また、社外へ発送する場合は、ケースやカセットへの収納条件とは分けて、外装梱包や輸送条件も確認する必要があります。
YJ COREVIAの対応サイズと収納枚数
YJ COREVIAの公開カタログに掲載されているウェーハフレームカセットでは、6インチ用のTJF-C6と8インチ用のTJF-C8が25枚、12インチ用のTJF-C12が13枚収納です。
出典：YJ COREVIA公開カタログ、シングルウェーハシッパーの製品解説
この収納枚数は、上記の掲載型番に対する仕様です。
すべてのウェーハフレームカセットに共通する収納枚数ではありません。
実際に製品を選ぶ際は、対象型番の仕様と使用するウェーハフレームとの組み合わせを確認してください。
シングルウェーハシッパーの製品写真や掲載製品は、YJ COREVIAの製品一覧から確認できます。
自社の運用に合う製品を絞り込むには？
シングルウェーハシッパーとウェーハフレームカセットを比較する際は、まず次の3点を整理します。
1つ目は、使用するウェーハフレームの仕様です。
対応サイズだけでなく、外形寸法、厚み、形状などを確認します。
2つ目は、1回の工程や搬送で何枚を一緒に扱うかです。
複数枚を同じ工程へまとめて送るのか、それとも1枚ずつ別の場所へ受け渡すのかによって、適したキャリアが変わります。
3つ目は、途中で特定の1枚を分ける必要があるかです。
抜き取り評価、不具合解析、サンプル提出などがある場合は、カセットと1枚用シッパーを併用する方法も検討できます。
例えば、
通常は5枚を同じ工程へ送り、その中から1枚だけを評価用として取り出す
という運用であれば、工程内搬送にはカセット、取り出した1枚の管理にはシングルウェーハシッパーというように、それぞれの役割を分けて考えられます。
仕様確認・見積りのご相談
YJ COREVIAへご相談いただく際は、次の情報をご共有いただくと確認を進めやすくなります。
- ウェーハフレームの図面または主要寸法
- 1回に扱う枚数
- 現在の保管・搬送方法
- 途中で個別管理へ切り替える工程があるか
- 現在使用しているケース・カセットの型番や写真
- 必要数量
特に、実際の作業の流れがわかると、単に収納枚数だけを比較するのではなく、どの場面でシングルウェーハシッパーまたはカセットを使用するか整理しやすくなります。
シングルウェーハシッパー・ウェーハフレームカセットの仕様確認や見積りを依頼する
まとめ
シングルウェーハシッパーとウェーハフレームカセットを使い分けるときは、収納枚数だけを見るのではなく、実際の工程でウェーハフレームをどのように分けて扱うかを確認します。
特定の1枚を評価先や別工程へ渡す場合は、シングルウェーハシッパーが候補になります。
一方、複数枚を同じ工程へまとめて搬送・保管する場合は、ウェーハフレームカセットが使いやすい場合があります。
また、通常はカセットで管理し、抜き取り評価や不具合解析の対象だけをシングルウェーハシッパーへ移すなど、両方を併用する運用も考えられます。
製品を選ぶ際は、「何枚収納できるか」だけでなく、「どの工程で、どのフレームを分ける必要があるか」まで整理することが重要です。
製品の基本構造や対応サイズについては、シングルウェーハシッパーとは？1枚用ブリスターボックスをご覧ください。
FAQ
1. カセットの最大収納枚数より少ない枚数でも使用できますか？
カセットの最大収納枚数まで使用するとは限りませんが、少ない枚数で運用する場合の保持状態や搬送条件は、製品仕様や使用するフレームによって異なります。実際に使用する枚数とフレーム仕様をもとに確認してください。
2. 6・8・12インチの表記が同じなら、そのまま収納できますか？
インチ表記だけでは判断できません。ウェーハフレームの外形寸法、厚み、形状と、ケースやカセットの保持条件を確認する必要があります。特殊形状や特注フレームの場合は、図面や主要寸法をもとに確認します。
3. カセットから1枚だけ取り出してシングルウェーハシッパーへ移せますか？
使用するウェーハフレームが両方の製品に適合し、移し替えに問題がないことを確認できれば、工程や用途に応じて個別管理へ切り替える方法が考えられます。
4. シングルウェーハシッパーとカセットを併用するメリットは何ですか？
複数枚をまとめて扱う工程ではカセットを使用し、評価や解析などで必要になったフレームだけを1枚用ケースへ分けられる点です。工程ごとに異なる管理単位へ切り替えたい場合に検討できます。
5. カセットに収納したウェーハフレームを、そのまま社外へ発送できますか？
収納できることだけでは、社外発送への適合性は判断できません。使用する製品の仕様、フレームの保持状態、輸送条件、外装梱包などを個別に確認してください。