12吋鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette TJF-A12

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晶圓傳送與乘載類

・不鏽鋼晶圓框架 / 晶圓環・擴晶環・塑膠晶圓框架/晶圓環・晶圓載具 Wafer Cassette /晶圓盒/晶舟盒・晶圓八角盒 / 晶圓框架盒・晶圓鑷子・晶圓盒/晶舟盒/晶圓載具・晶圓盒

清洗與維護類

TJF-A12

12吋鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette TJF-A12

材質：

鐵氟龍/PFA

尺寸：

350(L) x 180(W) x 320(H)mm

容量：

13 pcs

淨重：

3.9 KG

加入詢價

產品介紹

產品說明

12吋鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette TJF-A12

【產品介紹】

YJ Corevia 推出的 12吋鐵氟龍卡匣（PFA Cassette）TJF-A12，專為12吋晶圓於高腐蝕酸鹼濕製程環境下使用而設計，能在嚴苛條件中長時間維持穩定與安全，是先進半導體製程中關鍵的高潔淨晶圓載具。

本款鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette 採用高純度 PFA 材質製成，具備優異的耐高溫性能（200～220℃），同時能有效抵抗強酸、氫氟酸（HF）與強鹼腐蝕。即使在高溫清洗、蝕刻或化學處理製程中，仍能保持結構完整與尺寸穩定，確保晶圓在搬運與傳送過程中的安全性與潔淨度。

TJF-A12 特別針對12吋大尺寸晶圓設計，強化結構剛性與穩定度，降低變形與粒子污染風險，協助提升整體製程良率與生產效率。

為因應現代智慧製造需求，12吋 PFA Cassette 支援多項客製化配置：

加裝鐵氟龍手把，提升人工搬運穩定性
選配專用 M 形把手（TJF-A8-M），優化操作手感
雷射雕刻序號、Logo 或 QR Code
RFID 晶片嵌入，強化資產管理與製程追蹤

透過高度客製化設計，12吋鐵氟龍卡匣可順利整合自動化搬運系統（AMHS）與智慧工廠管理流程，滿足高階晶圓廠對潔淨度與可追溯性的嚴格標準。