ウエハリングのサイズはどう見る？外径・内径・厚みの確認ポイント
ウエハリングには、「6インチ用」「8インチ用」「12インチ用」といった表記があります。
このインチ表記は、一般的に対応するウェーハ径を示すもので、ウエハリング自体の外径ではありません。
たとえば8インチウェーハの直径は約200mmですが、対応するウエハリングの外径は、それより大きくなります。そのため、「8インチ用」という情報だけでは、必要なフレームを特定できないことがあります。
既存品の置き換えや特注品を検討するときは、最大外径、内径、厚み、外周形状を図面上で照合することが大切です。
インチ表記だけではサイズを判断できない
同じウェーハ径向けでも、ウエハリングの寸法がすべて同じとは限りません。
たとえば同じ6インチ用でも、使用する装置やフレーム規格によって、外径や内径が異なる製品があります。
寸法が変わる主な理由は次のとおりです。
- 使用するマウンターやダイシング装置が異なる
- ダイシングテープの貼付範囲が異なる
- 搬送カセットの仕様が異なる
- 標準品と特注品で外周形状が異なる
そのため、問い合わせ時には「8インチ用」といった呼び方だけでなく、図面や主要寸法も伝えたほうが確実です。
サイズ表で見る4つの寸法
1. 最大外径
最大外径は、ウエハリングの外周で最も大きい部分の寸法です。
装置のガイド、ウェーハマウンター、搬送カセット、収納ケースとの組み合わせに関係します。
数ミリの違いでも、装置ガイドやカセットとの干渉につながる場合があります。
円形に見えるフレームでも、フラット部や切り欠きが設けられていることがあるため、測定位置を図面上で確認してください。
2. 最小寸法・外周形状
製品仕様表には、「最大外径」とあわせて「最小寸法」が記載される場合があります。
これは、円形ではない外周形状や、フラット部を含む寸法を確認するために使われる項目です。
ただし、測定位置や表記方法は製品によって異なります。「最小寸法」という名称だけで判断せず、メーカーの図面を参照してください。
図面では、次の部分も照合します。
- フラット部の幅
- 切り欠きの形状と位置
- 外周形状
- 位置決め穴
- 突起の有無
最大外径が同じでも、外周形状が装置仕様と異なれば、そのまま置き換えられないことがあります。
3. 内径
内径は、ウエハリング中央の開口部の寸法です。
対応するウェーハ径だけでなく、ダイシングテープの貼付幅や、ウェーハ周囲に設ける余白にも関係します。
内径を確認するときは、次の条件と照らし合わせます。
- ウェーハ径
- ダイシングテープの外径
- テープの貼付位置
- ウェーハ周囲の余白
- マウンターの対応範囲
内径が変わると、テープの貼付幅やウェーハの配置条件も変わります。内径だけを単独で決めず、テープと装置の仕様をあわせて確認してください。
4. 厚み
厚みは見落とされやすい寸法ですが、装置や搬送カセットとの組み合わせに関わります。
同じ外径と内径でも、メーカーや製品によって厚みが異なる場合があります。厚みが変わると、次の部分に影響する可能性があります。
- 装置内での保持位置
- クランプ状態
- 搬送カセットの段間隔
- 出し入れ時のクリアランス
また、厚みを変更する場合は、必要な剛性や平坦度を確保できるかも別途検討します。
YJ COREVIAのウエハリングは、厚み1.2mmを基本仕様としています。 外径、内径、切り欠き、位置決め形状などは、使用する装置や工程条件に合わせてカスタマイズできます。
既存品を置き換える場合は、外径や内径だけでなく、現在使用しているフレームの厚みが1.2mm仕様に対応するか、装置や搬送カセットの条件と照合してください。
同じウェーハ径でも寸法が異なる理由
同じ8インチウェーハ向けでも、すべてのウエハリングが同じ寸法になるわけではありません。
装置側の保持方法、テープの貼付範囲、搬送カセットの内部寸法、位置決め形状などが異なるためです。
特に注意したいのが、ダイシング装置には入っても、搬送カセットに収納できないケースです。
ウエハリングは前後工程を移動するため、次の組み合わせまで確認します。
- ウェーハマウンター
- ダイシング装置
- 搬送カセット
- 収納ケース
装置名称だけで判断せず、対応フレームの図面や型式を照合してください。
図面で確認したい寸法
ウエハリングのサイズを確認するときは、少なくとも次の項目を図面上で確認します。
- 対応するウェーハ径
- 最大外径
- 最小寸法
- 内径
- 厚み
- フラット部の幅
- 切り欠きの形状と位置
- 位置決め穴の寸法と位置
すべてのウエハリングに、最小寸法や位置決め穴があるわけではありません。製品形状に応じて必要な寸法を照合します。
既存品を置き換える場合は、図面に加えて現物サンプルがあると、外周形状や細かな位置関係を比較しやすくなります。
YJ COREVIAのカスタムウエハリング対応
YJ COREVIAでは、厚み1.2mmのウエハリングを提供しています。
外径、内径、フラット部、切り欠き、位置決め穴などは、使用する装置、ダイシングテープ、搬送カセットに合わせてカスタマイズできます。
既存品の置き換えや特注仕様を検討している場合は、次の情報をご提供ください。
- 既存品の図面または主要寸法
- 対応するウェーハ径
- 使用装置のメーカーと型式
- ダイシングテープの仕様
- 搬送カセットの情報
- 既存品の写真または現物サンプル
製品名やインチ表記だけで判断せず、実際の寸法と使用環境を照合したうえで仕様を検討します。
まとめ
ウエハリングの「6インチ用」「8インチ用」「12インチ用」という表記は、基本的に対応するウェーハ径を示すもので、フレーム自体の外径ではありません。
サイズを判断するときは、次の項目を確認します。
- 最大外径
- 最小寸法
- 内径
- 厚み
- フラット部
- 切り欠きや位置決め形状
同じウェーハ径向けでも、使用装置や搬送カセットによって必要な寸法は異なります。
既存品を置き換える場合は、インチ表記だけで判断せず、図面や現物サンプルを基準に照合してください。
ウエハリングのサイズ確認、既存品の置き換え、特注寸法については、YJ COREVIAまでお問い合わせください。
FAQ
1. 8インチ用ウエハリングの外径は8インチですか？
いいえ。8インチは一般的に対応するウェーハ径を示します。ウエハリング自体の外径は、それより大きくなります。
2. 同じ8インチ用なら置き換えられますか？
必ずしも置き換えられるとは限りません。最大外径、内径、厚み、外周形状、使用装置を照合してください。
3. 最大外径と最小寸法の違いは何ですか？
最大外径は、フレーム外周の最も大きい部分の寸法です。最小寸法は外周の短い方向などを示す場合がありますが、定義や測定位置は製品によって異なるため、メーカー図面で確認してください。