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TJF-A6

6吋鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette TJF-A6

材質:
鐵氟龍/PFA
尺寸:

143.3(L) x 177.8(W) x 171.4(H)mm

容量:
25 pcs
淨重:
1.1 KG
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產品介紹

產品說明

6吋鐵氟龍卡匣 / PFA Cassette TJF-A6

【產品介紹】

YJ Corevia 推出的 6吋鐵氟龍卡匣(PFA Cassette)TJF-A6,專為半導體晶圓酸鹼濕製程環境打造,是高潔淨、高耐化學應用的理想選擇。此款 鐵氟龍卡匣 採用高純度 PFA 材質製成,可在 200~220℃ 高溫環境下穩定使用,同時具備優異的耐強酸、耐氫氟酸(HF)與耐強鹼特性,確保晶圓在傳送與清洗過程中的完整性與安全性。

TJF-A6 PFA Cassette 結構設計穩定,可有效降低製程中因熱脹冷縮或化學腐蝕造成的變形風險,維持晶圓排列整齊與載運安全。特別適用於濕製程清洗、蝕刻及化學處理等高腐蝕環境,是半導體與微電子產線中不可或缺的專業晶圓載具。

此外,本款 PFA Cassette 支援多項客製化選項,包括:

  • 加裝鐵氟龍手把
  • 選配專用 M 形把手(TJF-A6-M)
  • 雷射雕刻編號、Logo 或 QR Code
  • RFID 晶片安裝,強化資產管理與製程追蹤

透過高度客製化設計,6吋鐵氟龍卡匣能更靈活整合自動化搬運系統與智慧製造管理需求。

【適用範圍建議】

半導體產業、微電子產業等

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