晶圓盒/晶舟盒/晶圓載具

晶圓盒/晶舟盒專為承載晶圓而設計,主要材質分為金屬與鐵氟龍兩種,可依需求調整尺寸與規格。產品多用於無塵室內的晶圓生產過程中,將晶圓置入晶舟盒後再放入機台,可有效避免晶圓直接接觸造成污染或損傷。

在高溫半導體製程中,通常採用金屬晶舟盒作為載具。金屬材質具防滑卡扣設計,晶圓放置於晶舟內並鎖上定位桿,可防止晶圓於傳送或製程中滑落。
而在酸鹼製程中,則使用鐵氟龍材質晶舟盒,其特殊結構設計可穩固支撐晶圓,並在離開酸槽後有效減少酸鹼殘留,確保製程安全與晶圓品質。

・晶圓框架客製化加工服務 ・12吋FOUP晶圓載具/晶圓傳送盒 (25片裝) ・6吋半導體吸塑盒 TJS-6 ・6吋半導體晶圓框架 TJF-6A ・8吋半導體晶圓框架 TJF-8B ・12吋半導體晶圓框架 TJF-12A ・方形半導體晶圓框架 TJF-C ・客製化洗溝晶圓框架 TJF-C-2 ・特殊訂製晶圓框架 TJF-C-3 ・6吋半導體塑膠晶圓框架 TJF-6P-2.5 ・8吋半導體塑膠晶圓框架 TJF-8P-2.5 ・12吋半導體塑膠晶圓框架 TJF-12P-2.5 ・6吋半導體晶圓載具 TJC-6 ・8吋半導體晶圓載具 TJC-8 ・12吋半導體晶圓載具 TJC-12 ・8吋半導體吸塑盒 TJS-8 ・12吋半導體吸塑盒 TJS-12 ・4/5吋擴晶環吸塑盒 TJI-4-5 ・6/7/8吋擴晶環吸塑盒 TJI-6-7-8 ・12吋擴晶環吸塑盒 TJI-12 ・6吋晶圓盒/蛋糕盒 TJG-6-3 ・6吋晶圓盒/蛋糕盒 TJG-6 ・8吋晶圓盒/蛋糕盒 TJG-8 ・6吋鐵氟龍晶圓盒 TJA-6 ・8吋鐵氟龍晶圓盒 TJA-8 ・8吋鐵氟龍晶圓盒 (半截式) TJA-8-1 ・12吋鐵氟龍晶圓盒 TJA-12 ・6吋半導體八角盒 TJB-6 ・8吋半導體八角盒 TJB-8 ・12吋半導體八角盒 TJB-12 ・1吋高科技聚合物晶圓鑷子 TJM-1 ・6吋半導體擴晶環 TJR-6 ・4吋高科技聚合物晶圓鑷子 TJM-4 ・8吋半導體擴晶環 TJR-8 ・8吋高科技聚合物晶圓鑷子 TJM-8 ・12吋半導體擴晶環 TJR-12 ・4吋晶圓盒 TJW-4 ・6吋晶圓盒 TJW-6 ・8吋晶圓盒 TJW-8 ・6吋半導體晶圓盒 TJP-6 ・8吋半導體晶圓盒 TJP-8 ・12吋半導體晶圓盒 TJP-12 ・2吋單片晶圓盒 TJO-2 ・4吋單片晶圓盒 TJO-4 ・6吋單片晶圓盒 TJO-6 ・8吋單片晶圓盒 TJO-8 ・12吋單片晶圓盒 TJO-12
返回頂端