不鏽鋼鐵圈（Metal Ring）是什麼？半導體用途、尺寸與產品規格

不鏽鋼鐵圈（Metal Ring）是什麼？半導體用途、尺寸與產品規格

在半導體後段製程裡，常會聽到「不鏽鋼鐵圈」、「Metal Ring」、「Wafer Frame」、「Wafer Ring」或「Dicing Ring」。

這些名稱在實際使用上經常互相重疊，但對工程或採購來說，比名稱更重要的是：

它實際是哪一種晶圓框架、搭配什麼膠膜與製程，以及現有設備與載具使用的是哪一組規格。

YJ COREVIA 目前提供6吋、8吋、12吋及客製化的不鏽鋼晶圓框架。其中 8吋TJF-8B產品直接以「不鏽鋼鐵圈｜Metal Ring」命名，公開規格包含 SUS 420、最大外部尺寸 296 mm、內徑 250 mm與1.2T厚度。

這篇先從「不鏽鋼鐵圈到底是什麼產品」開始，再整理常見名稱、尺寸概念、真實產品規格，以及不鏽鋼框為什麼會有清洗與再利用需求。

不鏽鋼鐵圈是什麼？

不鏽鋼鐵圈是一種金屬晶圓框架，常搭配 Dicing Tape、UV Tape 等膠膜使用，讓貼附在膠膜上的晶圓可以框架為單位進行搬送與後續製程。

晶圓先貼附在膠膜上，膠膜外圍再由金屬框架撐住，使整體可以進一步搬送、定位或進入後續製程。

因此，Metal Ring 並不是直接夾住晶圓的金屬圈。它主要支撐的是貼有晶圓的膠膜外圍，讓晶圓與膠膜形成可操作的框架單元。

這也是為什麼半導體產線在談「鐵圈」時，實際上通常是在談整套 Wafer Frame／Tape Frame 系統的一部分。

Metal Ring 為什麼又叫 Wafer Frame、Wafer Ring、Dicing Ring？

同一類產品在不同供應商、設備廠或產線裡，名稱不一定完全一致。

常見名稱包括：

• 不鏽鋼鐵圈 / Metal Ring：強調金屬材質與環狀框架
• Wafer Frame：強調晶圓支撐框架的功能
• Wafer Ring：以環狀外型命名
• Dicing Ring：強調用在 Dicing 製程
• Tape Frame：強調與 Dicing Tape 或 UV Tape 搭配

YJ COREVIA 自己的產品名稱也同時使用這些詞。

例如：

• 6吋：Wafer Frame／不鏽鋼晶圓框架
• 8吋：不鏽鋼鐵圈／Metal Ring
• 12吋：不鏽鋼切割環

因此，看到不同名稱時，不一定代表是完全不同的產品類別。比較時更重要的是實際產品規格與使用條件，而不是只看名稱。

不鏽鋼鐵圈在 Dicing Tape 系統裡扮演什麼角色？

晶圓在進入 Dicing 製程前，通常會搭配膠膜與框架一起操作。

簡化來看，可以理解成：晶圓 → Dicing Tape / UV Tape → Metal Ring / Wafer Frame

膠膜負責承載晶圓，Metal Ring 則支撐膠膜外圍，這樣的結構可以讓貼膜後的晶圓以框架為單位進行搬送與後續操作。

所以當產線更換 Metal Ring 時，實際上不能只確認「這是一個8吋框」，還要看它是否符合原本的 Tape Mounting 方式、搬送載具與後續設備需求。

更完整的尺寸、厚度與設備配合方式，則應另外從 Wafer Frame 選型的角度確認。

不鏽鋼 Metal Ring 為什麼適合重複使用？

不鏽鋼 Metal Ring 的特點之一，是可依框架本體的實際狀況，進行除膠、清洗、檢查與翻新，評估是否適合重複使用。

YJ COREVIA 目前公開的不鏽鋼晶圓框架產品採用 SUS 420 不鏽鋼。

對產線而言，不鏽鋼框架具備以下使用特性：

• 可維持一致的框架規格
• 可透過雷雕標記，方便識別與管理
• 可依使用需求進行加工
• 可進行除膠、清洗與翻新
• 可依需求選用標準或客製化外型

框架經清洗或翻新後，仍須確認尺寸、平整度與外觀等條件符合要求，才能再次投入使用。

因此，即使同樣採用 SUS 420 不鏽鋼，不同的 Metal Ring 也不一定能互相替換，更不能僅因完成清洗，就直接重新投入產線。

6吋、8吋、12吋不鏽鋼鐵圈代表什麼？

Metal Ring 通常會以6吋、8吋、12吋分類。

這裡的吋數主要是對應使用的晶圓尺寸與產品系列，不是指鐵圈本體外徑就等於6吋、8吋或12吋。

例如8吋晶圓使用的金屬框，本體外部尺寸會明顯大於8吋晶圓。

因此，「8吋 Metal Ring」比較像是一個產品分類方式，而不是完整尺寸規格。

如果只是初步找產品，可以先從6／8／12吋縮小範圍，但如果要正式替換既有產品，就還需要進一步確認圖面與實際規格。

以 TJF-8B 看一組實際 Metal Ring 規格

以 YJ COREVIA 的 8吋不鏽鋼鐵圈 TJF-8B 為例：

這組數據可以看出一件很重要的事：「8吋」只是產品分類，不等於鐵圈的實際外徑。

而且這些尺寸是 TJF-8B 這個型號的規格，不能直接套用到所有 8吋 Metal Ring。

如果正在找既有鐵圈的替代品，應以實際型號或圖面進行比對。

標準圓形鐵圈之外，還有哪些不鏽鋼晶圓框架？

半導體產線使用的金屬框不一定都是相同的圓形外觀。

依設備與製程需求，也可能出現不同形式。

YJ COREVIA 目前產品線除了標準6吋、8吋、12吋不鏽鋼晶圓框架外，也包含：

• 方形晶圓框架
• 洗溝晶圓框架
• 特殊外型晶圓框架
• 客製尺寸或厚度
• 雷雕識別

這也是為什麼業界在談「Metal Ring」時，不應只把它理解成一個固定尺寸的圓環。

實際產品可能會依設備、搬送方式或既有製程條件而有不同設計。

不鏽鋼鐵圈為什麼需要清洗、除膠與翻新？

不鏽鋼框架在使用後，表面可能殘留膠膜、膠材或製程污染。如果框架本體仍有再利用價值，就可能進一步進行除膠、清洗與翻新。

但要注意：「清洗完成」與「可以重新投入製程」是兩個不同的判斷。

洗乾淨之後，還需要依實際要求確認框架狀態，例如：

• 是否仍有殘膠
• 外觀是否有刮傷或損傷
• 框架是否變形
• 平整狀態是否符合要求
• 主要尺寸是否有異常
• 特殊加工部位是否受損

因此，不鏽鋼 Metal Ring 的使用週期會是：

使用 → 除膠／清洗 → 檢查 → 判斷是否可再次使用

YJ COREVIA 目前也提供晶圓框架除膠清洗、加工與翻新相關服務。

哪些情況不能只靠「8吋鐵圈」找產品？

如果只是初步詢問產品，「6吋、8吋、12吋」可以用來先縮小範圍。

但如果是以下情況，只提供「8吋鐵圈」通常還不夠：

• 替換既有供應商
• 使用特殊外型框架
• 設備已有固定定位方式
• 搭配既有 Frame Cassette 或 Frame Box
• 不希望修改現有製程

這時候建議直接提供現有鐵圈圖面、主要尺寸、型號或實物照片。因為即使都是 8吋 Metal Ring，也可能存在外型、厚度、孔位或其他規格差異。

若要進一步確認外部尺寸、厚度、Flat、Notch、孔位及設備配合，可另外參考 YJ COREVIA 的〈Wafer Frame怎麼選？晶圓框架尺寸與設備相容性指南〉。

這篇 Metal Ring 指南則以產品名稱、實際規格與不鏽鋼框的使用方式為主。

YJ COREVIA 的不鏽鋼鐵圈產品與服務

YJ COREVIA 目前提供多種不鏽鋼晶圓框架，包括：

• 6吋不鏽鋼晶圓框架
• 8吋不鏽鋼鐵圈 / Metal Ring
• 12吋不鏽鋼切割環
• 方形晶圓框架
• 洗溝晶圓框架
• 特殊客製晶圓框架

除了標準框架外，也可依需求確認客製加工、雷雕，以及使用後的除膠清洗與翻新需求。

如果是既有 Metal Ring 替換，建議準備：

• 現有圖面或主要尺寸
• 現有品牌與型號
• 實物照片
• 使用的晶圓尺寸
• 搭配設備或載具
• 所需數量

如果是新規格開發，也可以提供設備或製程端已知的框架條件，由雙方先確認需要比對的項目。

若您正在評估不鏽鋼鐵圈、既有 Metal Ring 替換、客製晶圓框架或清洗翻新，可將現有圖面與使用條件提供給我們。

產品規格確認與報價需求，也可直接聯絡我們。

總結

不鏽鋼鐵圈（Metal Ring）是半導體後段製程中常見的金屬晶圓框架，通常搭配 Dicing Tape 或 UV Tape 使用。

依供應商與使用情境不同，也可能被稱為：

• Wafer Frame
• Wafer Ring
• Dicing Ring
• Tape Frame
• 不鏽鋼晶圓框架
• 晶圓環
• 切割環

名稱雖然不同，但真正需要看的仍然是產品本身。

以 YJ COREVIA 的 TJF-8B 為例，規格包含 SUS 420、296 mm 最大外部尺寸、250 mm內徑與 1.2T厚度。

另外，不鏽鋼框架的一個重要特點，是可以依實際狀態進行除膠、清洗、檢查與翻新。

因此，在評估 Metal Ring 時，不只可以看新產品規格，也可以一起考慮既有鐵圈的替換、客製與再利用方式。

FAQ

1. 不鏽鋼鐵圈和 Wafer Frame 一樣嗎？

不鏽鋼鐵圈通常屬於金屬 Wafer Frame 的一種。業界也可能使用 Metal Ring、Wafer Ring、Dicing Ring 等名稱，實際仍應以用途與產品規格判斷。

2. Metal Ring 一定是不鏽鋼嗎？

不一定。Metal Ring 表示金屬框架，實際材質要看產品規格。YJ COREVIA 目前公開的標準不鏽鋼晶圓框架採用 SUS 420。

3. 8吋 Metal Ring 的外徑就是8吋嗎？

不是。8吋主要對應產品與晶圓尺寸分類。以 YJ COREVIA 的 TJF-8B 為例，公開最大外部尺寸為 296 mm。

4. 不鏽鋼鐵圈可以重複使用嗎？

可依實際使用狀態進行除膠、清洗、檢查與翻新。經確認尺寸、平整度、外觀等條件仍符合要求後，才適合再次投入使用。

5. 不鏽鋼鐵圈和 Dicing Ring 有什麼不同？

Dicing Ring 通常強調切割製程用途，而不鏽鋼鐵圈或 Metal Ring 較強調材質與產品形式。實際上兩個名稱可能指向相同或非常接近的金屬 Wafer Frame 產品，仍應以規格確認。

6. 找 8吋 Metal Ring 時需要提供哪些資料？

如果只是初步詢問，可以先提供晶圓尺寸與需求數量。若要替換既有產品，建議提供現有圖面、主要尺寸、型號、照片，以及搭配設備或載具資訊。